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南大光电:公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证 制程覆盖28nm~90nm 天天观天下

来源:界面新闻 发布时间:2023-06-02 20:23:39


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南大光电6月2日在互动平台上称,公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证,制程覆盖28nm~90nm,各款产品的验证进度不一。

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